[传感技术]虹科技术 | 用于气体密度和粘度传感器应用的压电 MEMS 悬臂梁的设计、模拟、制作和表征
摘 要经设计、模拟、制作和测试，基于MEMS悬臂的谐振器用于压电驱动和感测的气体监测。氮化铝（AlN）用作活性材料来实现压电致动器和传感器。使用COMSOL进行的模拟和测量结果显示了非常好的一致性。最后一个系统是气体监测的全传感器，可在0至60°C温度和1至10巴绝对压力下测量气体密度和粘度，准确度分别为<0.03 kg/m3 和6%。目前正在进行第二次技术运行，旨在提高粘度的准确性。关键词：MEMS、谐振器、悬臂、压电驱动、压电传感、密度、粘度、气体监测研究背景、动机和目标微机械传感器广泛
[传感技术]MEMS将主导陀螺仪？国外巨头已瓜分，国产还有机会吗？(万字分析）
陀螺仪技术自问世以来，发展至今已有160余年历史，在导航、制导与控制等领域，以及汽车、消费电子等各种应用场景得到了广泛应用。中国中高端MEMS传感器基本为意法半导体、博世等国外巨头把控，MEMS陀螺仪也不例外。随着近几年美国制裁的加剧，叠加疫情等缺芯状况的影响，陀螺仪等中高端MEMS传感器研发制造企业逐渐获得社会和资本的关注。深迪半导体、矽睿等厂商也因此获得多轮投融资。本文全面分析了全球陀螺仪市场与发展情况，各种陀螺仪技术特点、竞争格局等信息，尤其着重MEMS陀螺仪，认为未来几年MEMS将在中
[传感技术]智芯传感智能MEMS传感器助力消费电子应用普及
随着科技的高速发展，汽车电子、网络通信、消费电子、电子医疗等智能化应用场景已不断普及到千家万户，在不久的将来，我们将处于一个万物互联的智能网络时代。而在这样一个时代中，智能MEMS传感器是物联网应用场景中不可或缺的产品之一。据权威机构预测，到2025年我国将会有416亿个物联网设备，年复合增长率将达到28.7%，相应地，物联网应用所需的智能MEMS传感器每年也将以不低于30%左右的速度不断增加。 在智能化的应用场景中，消费类电子产品可以说与我们的日常生活关联最为密切
[传感技术]10月新品推荐：MCU、Retimer、MEMS麦克、GaN HEMT
PIC MCU无线连接已成为许多产品的必备功能，但往往会增加系统设计的成本和复杂性，因为它通常必须作为更大应用的附加功能。Microchip Technology推出首款基于Arm Cortex-M4F的PIC单片机（MCU）系列产品，以解决这一无线连接设计挑战。新系列产品将蓝牙低功耗功能直接集成为系统的基本组件之一，并得到业界全面的开发生态系统的支持。rvGesmcrvGesmc新产品包括片上系统（SoC）器件以及经全球法规认证的射频支持模块。除了蓝牙低功耗功能外，新系列还包括Zigbee
[传感技术]中国第一MEMS企业歌尔股份发布第三季度财报，业绩大幅增长！（揭秘背后动力）
10月27日，歌尔股份披露了公司第三季度业绩报告。数据显示，歌尔股份营收约305.49亿元，同比增长35.77%，归属于上市公司股东的净利润为17.61亿元，同比增长9.98%；2022年前三季度，歌尔股份营收合计约741.53亿元，同比增长40.47%，归属于上市公司股东的净利润约38.40亿元，同比增长15.23%。对于三季度本报告期内业绩变动的原因，歌尔股份表示，相比去年同期，主要是因为以VR（虚拟现实）为代表的智能硬件业务扩张，盈利能力改善。其实虚拟现实作为技术密集型产业，企业的研发水平在竞争中会起到关键性的作用。因
[传感技术]中国兵工报：微电子院打造兵器MEMS微电子原创技术策源地
日前，《中国兵工报》“创新这十年 喜迎二十大”专版刊发了《微电子院 打造兵器微电子原创技术策源地》，现全文转发如下：微电子院 打造兵器微电子原创技术策源地党的十八大以来，中国兵器工业集团华东光电集成器件研究所（微电子院）深入学习贯彻习近平总书记关于科技创新的重要论述精神，认真落实集团公司改革创新的工作部署，坚持系统观念，主动作为、勇于变革、锐意进取、敢为人先，在科技创新方面勇于探索，以MEMS技术为核心打造兵器微电子原创技术策源地，争当现代产业链“链长”，走出一条适合自
[传感技术]MEMS为何开始火热？
随着歌尔微IPO申请过会，国内MEMS又迎来了一波热潮。作为唯一上榜全球MEMS厂商十强的中国企业，歌尔微的上市让人们将目光再次注视向这个领域——MEMS。MEMS的高门槛MEMS技术于1980年代发明，是一种利用硅基半导体制造工艺制造微型机械电子系统的技术，最早在汽车和军工领域有部分应用，主要产品包括MEMS传感器和MEMS执行器。MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换
[传感技术]全球首次突破！清华校友研发新型柔性可降解MEMS芯片！融合瞬态电子技术
?投稿过程中，该论文获得了如下评价：“这是一篇由该领域的世界领导者（撰写）的关于可降解 MEMS 的系统性论文，内容的展示是杰出的”“整篇论文用系统全面的实验证明了整套可降解 MEMS 体系的可行性。整套技术细节都是鲁棒的、准确的、精准的，几乎没有技术批评的余地”。蒙城，是安徽省亳州市的一个下属县，也是庄子的故里。2012 年，来自该县蒙城一中的杨权三以 677 分的高考成绩，成为全市理科第一，后就读于清华大学“钱学森力学班”。这是国家“基础学科拔尖学生培养试
[传感技术]歌尔股份：子公司MEMS相关的芯片研发设计业务在正常开展中
11月2日，歌尔股份在投资者互动平台称，子公司歌尔微电子有部分涉及MEMS相关的芯片研发设计业务，上述业务在正常开展中。?据悉，歌尔微以MEMS器件及微系统模组研发、生产与销售为主，产品主要应用于智能手机、智能无线耳机、可穿戴产品、汽车电子等领域。歌尔微研发生产的MEMS传感器主要包括声学传感器、压力传感器、骨声纹传感器、集成传感器等。微系统模组则由MEMS芯片、IC芯片及无源器件等封装构成，可满足消费电子小型化、轻薄化、
[传感技术]什么是 MEMS 传感器？类型、应用
在本教程中，我们将了解一种称为 MEMS 的有趣技术。我们将看到 MEMS 的一些基本概念，并以 MEMS 传感器的形式了解 MEMS 的应用。我们还将了解不同类型的 MEMS 传感器和一些当前应用。什么是微机电系统？MEMS 是 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写。它是一种与制造微型设备相关的技术，如传感器、传感器、执行器、齿轮、泵、开关等。换句话说，MEMS 是一种微观集成设备，它是电子、电气和机械元件的组合，所有这些都使用一种称为微系统技术 (MST) 的技术共同工作以满足单一的功能要求。MEMS技术被认为是传统集成
[传感技术]上海微系统所采用MEMS芯片气相原位TEM技术揭示氢气传感器的失效机制
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于MEMS芯片的气相原位透射电镜（TEM）表征技术，探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在MEMS氢气传感器工况条件下的失效机制（图1）。4月13日，相关研究成果作为Supplementary Cover论文，以In Situ TEM Technique Revealing the Deactivation Mechanism of Bimetallic Pd-Ag Nanoparticles in Hydrogen Sensors为题，发表在Nano Letters上。?? 随着低碳经济的快速发展，氢能作为理想的清洁能源应用于各个领域，如氢燃料电池汽车。为了确保氢气的安全使
[传感技术]歌尔微成功过会，MEMS产业上市军团再添新兵
2022年10月19日，歌尔微电子股份有限公司(以下简称“歌尔微”)通过深交所创业板上市委审议会议，成为青岛市今年第9家上市及过会企业，MEMS产业上市军团即将再添新兵。 歌尔微成立于2017年10月，是一家以MEMS器件及微系统模组研发、生产与销售为主的半导体公司，业务涵盖芯片设计、产品开发、封装测试和系统应用等产业链关键环节，主要产品包括MEMS传感器和微系统模组，广泛应用于智能手机、智能无线耳机、平板电脑、智能可穿戴设备和智能家居等消费电子领域及汽车电子等领域。据招股说明书显示，歌尔微本次
[传感技术]汉天下MEMS滤波器芯片项目通线
10月18日，苏州汉天下自有晶圆厂——常熟臻芯微电子有限公司(以下简称臻芯微电子)MEMS滤波器芯片项目正式通线。据了解，臻芯微电子成立于2021年6月，作为汉天下的自建晶圆厂，该公司主要从事射频滤波器芯片的生产制造，目前已完成设备调试和全线投片通线，计划于近期开始试生产，整体达产后年销售突破15亿元，税收超1亿元。 其MEMS滤波器芯片研发生产项目总投资14亿元。其中，一期投资8亿元，将建设一条高性能体声波滤波器芯片制造和封装线，具备年产9.6亿颗体声波滤波器芯片能力;二期扩产后滤波器年产量翻
[传感技术]MEMS传感器市场状况及主要厂商
在智能化电子产品不断涌现，物联网智能终端与整机产品制造市场稳定发展的带动下，对传感器要求更小型化、智能化、低功耗、高集成度、可大批量产及低成本，MEMS传感器便能解决这一市场需求，在近几年技术和产量都得到了高速的发展。??? MEMS传感器已经在我们每天使用的各类设备上数以百万计地使用着。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统(TPMS)和车辆稳定性控制增强车辆的性能；医
[传感技术]东京理科大学：用于亚音速流动的柔性MEMS传感器，可表征曲面上的高速气流
传感新品【东京理科大学：用于亚音速流动的柔性MEMS传感器，可表征曲面上的高速气流】 东京理科大学本研究开发了一种使用聚酰亚酰亚音速衬底的柔性多向MEMS流量传感器，适用于高速亚音速流动。传感器通过对流传热的热平衡和通过微加热器周围的温度分布来测量流向的壁剪切应力。三对温度传感器可实现多向流量测量。结果，确认开发的传感器适用于30 m/s至170 m/s（马赫数从0.1到0.5）的高速流量，而不会对传感器造成任何损坏。该传感器可用于弯曲壁，以评估复杂的分离流量，这通常发生在各种流体机械中。
[传感技术]微差压MEMS压力传感器国产化芯片技术取得重要突破
? 微差压传感器广泛应用于中央空调系统、智能家居、呼吸机、净化室设备、汽车油箱等需要实时监测十分微小压强差变化的场景，在家电、医疗、工业、汽车等领域应用前景广阔。由于1kPa至10kPa量程的微差压传感器的灵敏度很高，需要在制造中精确控制厚度非常薄的压力敏感膜片，加工过程中对成品率和一致性的控制难度远超一般量程的压力传感器。目前以“键合-减薄”为特征的国内传统压力传感器制造工艺，需将数百微米厚的晶圆减薄至数微米厚。由于刻蚀一致性误差以及晶圆自身难以避免的厚度偏差，传统工艺对膜片厚度的极限
[传感技术]车规级XENSIV? MEMS麦克风助力赛轮思紧急车辆检测技术，CIPOS? Mini IM523系列智能功率模块
?英飞凌车规级XENSIV? MEMS麦克风，助力赛轮思紧急车辆检测技术，准确识别紧急车辆警报，为汽车赋予听觉?为了提高道路交通安全水平，许多国家正在出台相关的法律法规，要求驾驶员主动给紧急车辆让行。而随着自动驾驶汽车数量的增加，这些法规可能将覆盖至自动驾驶领域，要求自动驾驶车辆可以识别和响应紧急车辆，并满足安全要求。这在多数情况下需要同时用到声音警报和视觉警告信号。为此，英飞凌科技近日宣布与赛轮思合作，构建一款基于英飞凌车规级XENSIV? MEMS麦克风（IM67D130A）和赛轮思紧急车辆检
[传感技术]Bosch Sensortec：通过嵌入式AI和MEMS传感器感知未来
11月10日，由全球电子技术领域知名媒体集团AspenCore主办的国际集成电路展览会暨研讨会（IIC Shenzhen 2022）的全球CEO峰会上，Bosch?Sensortec的CEO?Stefan?Finkbeiner发表了“安全、健康和可持续：通过嵌入式AI和MEMS传感器感知未来”主题演讲。mTfedncmTfedncBosch成立于1886年，是一家很早就专注于汽车MEMS传感器的大型企业，设立了专门生产汽车MEMS传感器的部门，而且拥有自己内部的技术和晶圆厂。自1995年以来，Bosch一直是MEMS领域的先驱，同时也是汽车和消费
[传感技术]常熟臻芯微电子MEMS滤波器芯片研发生产项目通线
10月18日，苏州汉天下自有晶圆厂——常熟臻芯微电子有限公司MEMS滤波器芯片研发生产项目通线仪式顺利举行。 ? 据悉，臻芯微电子主要从事射频滤波器芯片的生产制造，目前已完成设备调试和全线投片通线，计划于近期开始试生产。其MEMS滤波器芯片研发生产项目总投资14亿元。其中一期投资8亿元，建设一条高性能体声波滤波器芯片制造和封装线，具备年产9.6亿颗体声波滤波器芯片能力；二期扩产后滤波器年产量翻倍，并具备应用于对应规模的射频模组封测能力。 ? 据了解，该项目以体声
[传感技术]刚刚?又有坏消息！6亿收购泡汤！中国最大MEMS代工厂被德国下禁令！
这两日，真是中国传感产业多事之秋。昨天（11月9日），中国第一MEMS企业歌尔股份被苹果公司暂停代工某智能声学整机产品（详细情况请参看《中国最大MEMS企业歌尔被苹果要求暂停代工！33亿订单转手！》内容）。今日（11月10日）早上，中国及全球最大的纯MEMS晶圆代工厂赛微电子发布公告，称德国政府正式禁止旗下子公司瑞典Silex收购德国Elmos的汽车芯片制造产线相关资产。据悉，该产线收购金额约6亿元人民币。我们知道，一个星期前，德国总理朔尔茨才刚刚携大众、宝马等企业天团访华，并签下数额达千亿元的大单。为何此次
