多氟多进入台积电供应链,国产氢氟酸进入国际一流水平

? ? ? ?近日，国产高纯电子化学品材料龙头厂商多氟多新材料股份有限公司(以下简称“多氟多”)发布公告，公司在经过台积电(南京)有限公司南京工厂(以下简称“台积电南京厂”)现场审核和多轮上线测试后，目前正式进入台积电合格供应商体系，并于近期开始向台积电南京厂批量交付高纯电子化学品材料。

　　据了解，此次多氟多打入台积电供应链的材料为高纯电子级氢氟酸。

　　什么是电子级氢氟酸?

　　高纯电子化学品又称湿电子化学品，品种类繁多，比如氢氟酸、光刻胶、氟化聚酰胺等，应用广泛，是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料。

　　超净高纯试剂一般要求尘埃颗粒粒径控制在 0.5?m 以下，杂质含量低于ppm 级(10-6 为 ppm，10-9 为 ppb，是 10-12为 ppt)的化学试剂，是化学试剂中对颗粒粒径控制、杂质含量要求最高的试剂。

　　目前广泛运用于半导体、太阳能硅片、LED 和平板显示等电子元器件的清洗和蚀刻等工艺环节。

　　电子级氢氟酸是高纯电子化学品当中的一种，主要用于去除氧化物，在半导体、太阳能光伏板和液晶显示器制造过程当中被大量使用。其中，半导体制造是电子级氢氟酸的最大应用市场，约占氢氟酸总消耗量47.3%。

　　在半导体制造过程中，电子级氢氟酸主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。

　　资料显示，在半导体制程中，有50多个环节需要使用高纯度电子氟化氢，足见其重要性。不过，相对于其他领域的应用来说，半导体制造对于电子级氢氟酸的品质和纯度要求也更高。

　　国产电子级氢氟酸已进入国际一流水平

　　据多氟多董事长李世江介绍说，多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中，突破了工艺技术、分析检测技术、超净化处理技术、包装容器的清洗技术及标准化技术等关键技术，所生产的电子级氢氟酸品质达到UP-SSS级(G5级别)，产品纯度达到PPT级，是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别，能够满足目前最先进工艺制程对材料的要求，处于国际一流水平。

　　而根据国际半导体设备与材料组织(SEMI)成立的 SEMI 化学试剂标准委员会，对世界湿电子化学品的等级的标准划分来看，主要划分为 SEMI G1 至 SEMI G5级。

　　在各应用领域的产品标准有所不同，光伏一般只需要 G1 级水平;显示面板和 LED 对湿电子化学品的等级要求一般为 G2、G3 水平;半导体制造对湿电子化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12 英寸晶圆制造一般要求 G4 以上，即G5级;分立器件对湿电子化学品纯度的要求低于芯片制造，基本集中在 G2级。

　　据不完全统计，我国电子级氢氟酸生产厂家有11家左右，但是能够达到半导体所用G4级及以上的企业仅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、滨化股份、兴发集团四家左右。而能够供应12英寸晶圆使用需求的超净高纯电子级氢氟酸，即G5级别(UP-SSS)电子级氢氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。

　　鉴于全球晶圆代工龙头台积电对于材料的严格要求，此次多氟多成功打入台积电南京12英寸晶圆厂(主要生产16/12nm制程芯片)的G5级电子级氢氟酸产品已达到了国际一流水平。