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[传感技术]重庆光电技术研究所研制70μm光敏面直径InGaAs SPAD
In0.53Ga0.47As雪崩光电二极管单光子探测器（SPAD）的响应波段为短波950~1700nm，覆盖量子通信使用的1550nm波长和激光探测的1064nm波段，是主流短波红外单光子探测器技术方案。为了获得更好性能，通常采用制冷(-30~-100℃)方式来降低暗计数率。然而，制冷装置如半导体制冷器（TEC）、热声制冷机等，会明显增加探测系统的体积和功耗，增加系统复杂度。因此，研究In0.53Ga0.47As SPAD的温度特性，是实现暗计数抑制的重要途径。近期，重庆光电技术研究所的研究人员在《半导体光电》期刊上发表了题
