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[传感技术]半导体工业应用中需要将氮气的纯度和清洁度控制在一定范围内
气体广泛应用于化工、钢铁、半导体、电子、医疗、石油、食品等行业。气体种类繁多，可分为一般特殊气体和工业气体。例如，在半导体BQ27510DRZR-G2工业中使用氮气是半导体工艺中非常重要的气体之一，使用量最大。由于其不导电、冷却速度快的特点，在工艺过程中可以保护设备，也可以用于危险气体与空气的隔离或低温试验。气体供应系统的氮气要求更严格，需要达到高清洁度、高纯度和高干燥度的条件；为了控制干燥程度，在气体供应和输送系统的过程中，将设置露点传感器来监测气体是否足够低。实际应用:半导体厂的氮气供
