ACD系列研发升级 | 为光学检测类设备赋能

　　应用案例

　　力矩电机在光学检测中的应用

　　行业背景

　　近年来，在半导体、光伏行业中，力矩电机得到了越来越广泛的推广和应用。在这些应用中，大部分运动要求都是点到点，即运动过程并非重点关注项，而是着重关注到位精度，因此对电机的重复精度提出了高要求。

　　此类应用普遍都要求电机的重复精度在±1~±2角秒之间(1角秒=1/3600度)，较少关注电机转动时的速度波动情况，对于客户来说只要到位精度准确，便基本不影响应用。

　　客户需求

　　然而，有些特殊的应用场景却对电机提出了不一样的要求。

　　椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。通常使用双电机运行，对位置轻微波动十分敏感，因此它对电机的速度波动要求极高。

　　当电机运行在1000rpm左右时，电机的速度波动率需控制在千分之一至万分之一以内。此外，该应用对电机的轴跳精度要求也较高，通常要求电机的轴跳在5um以内。

　　产品推介

　　力矩电机

　　雅科贝思力矩电机——ACD系列电机是无铁芯无刷电机，不会产生任何齿槽扭矩，从而可以实现平滑运动以及较低的速度脉动。独特的绕组设计使其拥有高扭矩密度。

　　ACD系列

　　电机采用无铁芯设计，无齿槽扭矩，低速度波动

　　集成高精密轴承，标准品轴向径向端跳可低至10μm(经过特殊定制可达5μm)

　　内置高精度光栅编码器，电机重复精度可达±3arcsec

　　中孔设计，12mm~25mm，方便客户走线以及布局光学反馈设备

　　定制化解决方案

　　ACD系列作为雅科贝思标准品电机应用于各行各业之中，但在端跳、速度波动等一些参数方面暂时无法满足类似椭偏仪这样的设备。

　　因此，在ACD系列的基础上，雅科贝思经过数月的持续研发升级，及多轮产品迭代，最终开发出能完美匹配此类对速度波动有极高要求的产品。

　　无论是正装还是侧装，其速度波动率均可实现0.05%(实测基于1200rpm，搭配合适驱动)。从实测数据看，新研发产品已达到该应用领域的一流设计水准。

　　同时，电机的轴跳可以轻松实现5μm以内精度。

新研发产品速度波动实测结果

新研发产品轴跳测试实测结果

　　更多应用

　　除椭偏仪外，其他多种需要光学反馈的高精密、低速度波动应用均可使用该电机，例如所有与光学检测相关的应用、恒速配药行业等。

　　产品一经推出，便吸引了众多客户的兴趣。经过多方严格测试，越来越多的行业头部企业对该产品给予了肯定，并与雅科贝思进行了深度合作。

　　雅科贝思能依据不同客户的不同需求，定制专业的有针对性的全套解决方案，研发出多款定制型号。

　　如需具体参数，请致电雅科贝思。