滨松推出用于表面发射激光器的新型集成技术，实现高精度3D测量

左图：iPMSEL阵列由16个发光单元组成。右图：由VCSEL、DOE和iPMSEL阵列组成的光束模式光源概念图。

近日，滨松光子（Hamamatsu Photonics）宣布其开发出一种高密度集成技术，用以创建iPMSEL（可集成相位调制表面发射激光器）阵列元件。该公司表示，作为全球最小级别的半导体激光器，它能够发射2D模式的激光束。滨松在一份声明中表示：“通过利用这项技术，我们成功地开发了一款iPMSEL阵列，该阵列由16个发光单元组成，在面积为2平方毫米的微型芯片上形成四排四列的布局。”

上述芯片上的每个iPMSEL阵列单元都可以独立控制，以切换其所输出的激光束图案，从而使该iPMSEL阵列适用于需要高精度的三维测量仪器（系统）。该阵列由16个iPMSEL阵列单元组成，每个单元大是边长约为200μm的正方形，并在2平方毫米的芯片上完成高密度和高精度一体成形。该阵列在发射激光束的同时，通过对每个发光单元的电气控制来实现各种高精度激光束图案之间的切换输出。

产品概述和应用

iPMSEL阵列能够切换输出10000多个点、条纹、网格、字符、CG等图案。滨松表示，他们已开发出利用其自主的全息设计和精微加工技术，以及基于光子晶体表面发射激光器的iPMSEL发光单元。光子晶体垂直腔面发射激光器是以京都大学野田研究室所开发的二维光子晶体（按光波长尺寸排列的微型结构）作为谐振器的垂直腔面发射激光器。

滨松补充表示：“我们目前开发的iPMSEL阵列能够执行高精度3D测量，例如相移法。据悉，相移法（phase-shifting method）是一种通过将周期性输出的二维光束图像照射到目标物体上，并解析由物体形状产生的光束失真，从而达到对表面三维形状进行高精度测量的一种技术。

此外，iPMSEL阵列还可用于提高3D动作捕捉和3D脸部识别的准确性。此外，通过高密度集成技术实现的小型轻量化优势，它还可被应用于医疗和工业领域的紧凑型便携式光纤内窥镜等设备中。

文章转载自：MEMS